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Trion Orion III PECVD 薄膜沉積系統

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產品耗材耗材

產地類別 進口

Trion Orion III PECVD薄膜沉積系統可以在緊湊的平臺上生產高品質的薄膜。反應器設計可以在在極低的功率生產具有優異臺階覆蓋的低應力薄膜。該系統可以滿足實驗室和中試生產環境中的所有安全,設施和工藝標準要求。

Trion Orion III PECVD薄膜沉積系統具有許多標準的需求功能,而且是這樣一個如此合理價格,這就是為什么許多世界各地的用戶已經作出了Trion Orion III PECVD薄膜沉積系統的選擇。

特征:

沉積薄膜:氧化物、氮化物、氧氮化物,非晶硅。

工藝氣體:<20%硅烷、氨氣、正硅酸乙酯、二乙基硅烷、氧化亞氮、氧、氮

應用:

MEMS, 固態照明,失效分析,研發,試驗線.

 

客戶留言:

“相比較實驗室的其他設備,我發現該設備(Orion III PECVD薄膜沉積系統和 Phantom RIE 刻蝕系統)是非常強大的。”–Lee M. Fischer,國家納米技術研究所,艾伯塔大學

“I’ve found both machines (Orion PECVD and Phantom RIE) to be quite robust, indestructible by comparison to some other lab equipment.” – Lee M. Fischer, National Institute for Nanotechnology, University of Alberta

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