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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機>Tergeo-EM 樣品桿等離子清洗機

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Tergeo-EM 樣品桿等離子清洗機

具體成交價以合同協議為準

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First-Nano System GmbH 

  • 2003年          創立于德國德累斯頓工業大學(Dresden University of Technology)

  • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(香港)有限公司   

  • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(香港)有限公司中國代表處,負責中國區業務

  • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(深圳)有限公司,更好的為中國南方區市場

     

德國韋氏納米系統成立以來,一直為客戶想的更多,Thinking more !!!

 

產品范圍:

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

等離子清洗機,均膠機,薄膜沉積,刻蝕

 

 

有2種清洗模式:浸泡式等離子清洗模式和遠程式等離子清洗模式

 

實時監測等離子體強度

 

 

Tergeo內置的等離子濃度傳感器,實時顯示等離子濃度。用戶可根據等離子濃度來調節氣體流速及射頻能量。可根據樣品來設定差異化的參數,滿足多種樣品的清洗需求

 

 

Tergeo內置的等離子濃度傳感器,實時顯示等離子濃度。用戶可根據等離子濃度來調節氣體流速及射頻能量。可根據樣品來設定差異化的參數,滿足多種樣品的清洗需求

 

 

Tergeo內置的等離子濃度傳感器,實時顯示等離子濃度。用戶可根據等離子濃度來調節氣體流速及射頻能量。可根據樣品來設定差異化的參數,滿足多種樣品的清洗需求

 

 

 

 

 

 



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