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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>樣品處理設備>粉碎/研磨設備>Samco Internatio RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向

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Samco Internatio RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向

參考價 89000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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 儀準科技(北京)有限公司是一家專業提供集成電路失效分析及可靠行測試的服務商

主要服務項目:半導體失效分析設備,元器件失效分析可靠性測試

非破壞性分析
 小型測試機 / 半導體I-V特性曲線儀 / 探針臺 / 顯微鏡觀察分析 / 3D X-Ray / 超聲波掃描顯微鏡 /
破壞性分析
 激光開封 / 手動開封 / 酸自動開封機 / 小型半導體器件銑床 / 微光分析儀 / 光致電分析儀 / 研磨拋光 / 探針臺 / 掃描電子顯微鏡/能譜分析 /
化學處理
 取晶 / 反應離子刻蝕機 / 碼點染色 / 顯微照相 / 電子掃描顯微鏡/能譜分析 /
聚焦離子束
 微線路修改 / 測試鍵生長 / 縱向微切片解剖 / 微區刻蝕 /
可靠性服務
 預處理 / 冷熱沖擊(TC) / 高壓蒸煮加速實驗(HAST) / HTRB / 老化實驗(Burn in) / 高壓高濕實驗(SPP) /
靜電測試(ESD/HBM/MM)
 CDM / Latch up / HBM / MM /
可焊性測試
 沾濕天平(Wet Balance) / 錫須實驗(Whisker) /
研磨/拋光等耗材銷售
 Allied / ProbeTips /

探針臺probe,開封機laser decap,紅外顯微鏡,微光顯微鏡EMMI,IV自動曲線量測儀

RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析

   

  Samco International是始于1979年的等離子蝕刻與沉積系統制造商;日本zui大的客制Plasma和Deposition設備供應商;日本京都、美國硅谷、英國劍橋、中國上海、中國臺灣和東南亞都有我們的設備和服務支持。Samco International為混合半導體、MEMS(微機電系統)、光電、失效分析以及其他市場制造各種各樣的系統。我們的產品在業內以系統占地面積zui小、性價比zui低著稱,且生產可靠性久經考驗。從整套生產需要工具、到簡單的實驗室系統,Samco International均有提供。
    反應性離子蝕刻,簡稱為RIE,RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析,zui為各種反應器廣泛使用的方法,便是結合(1)物理性的離子轟擊與(2)化學反應的蝕刻。此鐘方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優點,蝕刻的進行主要靠化學反應來達成,以獲得高選擇比。加入離子轟擊的作用有二:一是將被蝕刻材質表面的原子鍵結破壞,以加速反應速率。二是將再沉積于被蝕刻表面的產物或聚合物(polymer)打掉,以使被蝕刻表面能再與蝕刻氣體接觸。
 RIE-10NR反應離子蝕刻設備特點:
       1. 高選擇性各向異性腐蝕,符合苛刻的制程要求;
       2. 全自動"一鍵"操作*代替手動操作;
       3. 易于使用的電腦觸摸屏的參數控制和配方輸入和存儲;
       4. 晶圓尺寸達8"英寸直徑,圓滑、緊湊的設計使用zui少的潔凈室空間;
       5. RIE-10NR設計用于蝕刻氮化物、氧化物和任意需要氟基化學的薄膜或基片。其安裝在節省空間的平臺上的模塊化設計,使其成為*許多用戶的shou選系統;
       6. 高級選項:ICP(電感耦合等離子)、渦淪泵、帶背側氦冷卻系統和端點檢測系統的靜電吸盤等;
       7. 業已全面開發出各種工藝,用于對使用氟基化學的材料進行各向同性和各向異性蝕刻,其中包括:碳、環氧樹脂、石墨、銦、鉬、氮氧化物、光阻劑、聚酰亞胺、石英、硅、氧化物、氮化物、鉭、氮化鉭、氮化鈦、鎢鈦以及鎢。RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析

 



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