美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21S系列數字式質量流量控制器可用于快速準確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

氣體流量控制器產品特點 ：

● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度：優于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置130種常規以及腐蝕性氣體（如介質是lv氣CL2 或 二氧化硫SO2，訂貨時，需特殊說明）
● 可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體

氣體流量控制器技術參數 ：

介質要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類：內置了130種氣體，請咨詢

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

max顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD 0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預熱時間：<1s

響應時間：100ms

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度：-10 ～  50 ºC

工作濕度：0-100%,無冷凝

標準max工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

數字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業接頭

材質：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產品選型 ：

選項及配件 ：

●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
316L不銹鋼本體&傳感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置130種常用氣體可選 ，開放COMPOSER™ — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
200:1 量程可調比
NPT 接頭
可測量和控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM 密封
NeSSI 本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE 接頭
VCR, VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（至多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)

應用及案例 ：

● 大學/研究所
● 環境監測
● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯
● 汽車制造
● 計量
● 過程工藝氣體測量