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單軸壓電掃描臺/納米平移臺

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經(jīng)銷,致力于引進guo外*先進性與創(chuàng)新性的光電技術與可靠產品,為國內Z前沿的科研與工業(yè)領域提供優(yōu)質的產品與服務,助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發(fā)展前沿,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關領域的專業(yè)培訓,在售前技術溝通、售后產品安裝培訓、產品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務!我們專業(yè)高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業(yè)務領域的新邊疆,立志打造的代理服務品牌!



激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設備,相機

應用領域 綜合

單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設計,精度可達到亞納米量級。結合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級



Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺 微定位工作臺 微動臺 壓電精密定位系統(tǒng),納米平移臺,納米定位臺,納米掃描臺,壓電平移臺



單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。


全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設計,電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,而且擁有*的精度,可達到亞納米量級。結合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級。低的移動質量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。


對于大行程的納米定位臺,采用目前業(yè)內zui*的雙傳感技術與以往相比可以提供更快的響應速度,提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項突破性的技術能夠應用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器,其操作簡便,為用戶提供*性能。


公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產品:


①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動臺



AU-NPS-X-5A一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm(長高)。應用電容位移傳感器,位移分辨率達到亞納米級別。空載下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質,其擁有較輕的質量和高的剛度,使其有高的帶寬,在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級別。



單軸壓電掃描臺/納米平移臺




超快一維亞納米定位平臺



AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,用于高速的、超精密的應用。該設備在空載下的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度,響應時間達到毫秒量級。并且該款產品可按照不同需求進行工業(yè)定制。



單軸壓電掃描臺/納米平移臺


超大行程的一維納米微動臺

AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有較緊湊的體積,使用電容傳感器,在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設計,可提供更快的階躍響應,提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性,并擁有更大的帶寬,使其擁有更快的響應時間。


高負載大推力一維亞納米微動臺


AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺,zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ。空載下的自振頻率更是高達5000HZ


單軸壓電掃描臺/納米平移臺




除了以上幾款產品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優(yōu)異的性能。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬,在50g負載的情況下,響應時間可達毫秒量級。AU-NPS-X-15DAU-NPS-X-15A屬于相同型號,但是具有更高的高度(15.5mm),因此擁有更高的剛度,因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時間和較高的自振頻率。


單軸壓電掃描臺/納米平移臺


u  主要特點

  • 亞納米的分辨率

  • 高的帶寬

  • 高速響應

  • 高的可靠性

  • 結構緊湊

  • 壓電陶瓷驅動

  • 柔性鉸鏈設計

  • 電容位移傳感器閉環(huán)反饋




u  主要應用

 磁頭和磁盤驅動測試、計量學、干涉度量學、原子力顯微鏡等





u  產品主要參數(shù)



型號

參數(shù)

AU-NPS-X-5A

AU-NPS-X-15A

AU-NPS-X-15D

AU-NPS-X-500A

AU-NPS-X-30B

AU-OEM-X-10A

Material

Aluminium

Stainless steel 316

Stainless steel 316

Titanium &

Aluminium Alloy

Titanium

Titanium

Size


23 long x 16.5 wide x 7.6 high

60 long x 40 wide x 13.5 high

60 long x 40 wide x 15.5 high

60 x 60 x 20

60 long x 40 wide x 15.5 high

62 long x 40 wide x 22 high

Range (mm)

Minimum


± 7.5

± 7.5

500

± 15

± 5

Typical

6.5

± 8

± 8



± 6

Maximum







Resonant frequency: 0g load

Minimum


3000 HZ

3500 HZ

260 HZ

4500 HZ


Typical

8000 HZ



5000 HZ

9500 HZ

Maximum






Resolution

sub-nanometer

1 nm

sub-nanometer

Maximum load

5 g

5 kg

5 kg

1 kg

10 kg

0.2 kg

Position noise(1σ ) /nmrms

Fast


0.2

0.2


0.12

0.05

Medium

0.1

0.1

0.1

0.09

0.07

Slow


0.05

0.05

0.04

0.1

Linearity error (peak)/%

Minimum







Typical

0.1

0.01

0.01

0.02

0.01

0.01

Maximum

0.2

0.02

0.02


0.02

0.02
















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