維意真空熱蒸發鍍膜機支持定制

真空腔室：前開門真空腔體，方便取放基片、更換鎢舟、添加蒸發材料以及真空室的日常維護保養；

真空系統：國產分子泵作為主抽泵，真空極限優于5.0?10-5Pa（經烘烤除氣后）；另可選進口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限優于3.0?10-6Pa（經烘烤除氣后）；

真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；

蒸發源：4～6組金屬或是有機束源爐蒸發源可選，多源共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜，功能強大，性能穩定；

蒸發電源：真空專業蒸發電源，恒流/恒功率控制。電流、功率可預先設置，可實現一鍵啟動和停止的自動控制功能；

基片臺：120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉，轉速0～20r/min連續可調；

基片臺功能：襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距350mm；

濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；

膜厚監控儀：可選配國產或進口單水冷探頭膜厚儀；

可鍍材料：可沉積金屬（Au、Ag、Al、Ca、Cu、Mg、Fe、Cr、Ti、Ni等）、非金屬、化合物（MoO3、LiF等）及有機材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜；

控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。

我們的開發設計人員均具有8年以上真空行業工作經驗，獨立開發設計上百套涵蓋真空室的相關產品；我們使用業界CNC加工中心以及其它配套的加工機械，并業已形成完善的真空機械加工體系。

我們的質量保證及售后服務能力

我們的產品嚴格遵照相關標準，并執行原材料檢驗、加工在線檢測、半成品檢測及成品出廠檢測，對于非標定制的產品與客戶聯合檢測驗收；需要特別指出的是對于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦質譜檢漏儀檢漏測試，并對整個系統進行漏率測試，系統漏率優于 8.0×10-8 Pa.L/S。

維意真空踐行“先服務，后銷售”原則，承諾對本公司銷售的產品提供不少于12個月的質保服務（可根據客戶要求提供延保服務），質保期內設備的維修免費。質保期外，提供終身服務。對于操作故障，本公司在接到故障通知2小時內給予解答；對于設備故障，公司在接到故障通知后，北京地區12小時內派技術人員到達現場處理，外阜地區48小時內到達現場。

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