歐洲進口 精密拋光機

歐洲進口 精密拋光機

精密拋光機介紹：

1. GNAD61 精密研磨拋光機，主機及所有的零備件均采用高防腐蝕材料，整機防腐，適用于硅等多種半導體材料的化學機械研磨拋光。設備可加工樣品尺寸范圍為４英寸以下樣片。

2. GNAD61 設備設有一個工作站，可加工一片４英寸的樣品及若干小于 4英寸的不同形狀及尺寸的樣片。設備夾具具有１００％范圍擺動的功能。這一功能設計，可以保證設備在研磨拋光過程中，實現樣品的全擺動拋光，大大提升了設備的拋光產能及效率，同時也避免了拋光時間過長造成的樣片塌邊現象。

3. GNAD61 設備主機配有真空系統和自動填料系統等相關組件。真空系統，包括真空泵，過濾系統及相關連接組件。真空系統通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據不同工藝要求，真空系統可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的玻璃基板。GNAD61 設備隨主機標配的玻璃基板采用高質量浮法玻璃，經過精密的研磨工藝使基本實現高平整度，ＴＴＶ≤２ｕｍ．真空系統搭載的過濾裝置，可以有效的過濾磨拋過程中產生的廢料液，以避免廢液被吸入真空泵造成故障。

Gnad 61 優勢

精密拋光設備通過超細拋光液對半導體材料進行拋光，實現平整度，粗糙度等高指標技術要求。

設備所有的功能，由控制面板按鍵來控制，每一控制參數，均有獨立的按鍵控制，便于售后的維修服務，可以控制成本。

研磨拋光盤運行由主驅動部分控制，盤的轉速變化可從每分鐘0轉到每分鐘100轉，從而保證了不同工藝要求的參數。

控制面板上定時控制，能夠設定連續運轉多至10個小時，給操作者以zui大的自由操控性。

在設備的側面，設計有除液口，用于廢液的導出，使得整個工藝過程變得簡單快潔。