CS310C 數字式氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號 CS310C
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/2/10 15:21:00
- 訪問次數 8974
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創流量計有限公司、北京七星華創集成電路裝備有限公司及北方華創微電子裝備有限公司射頻業務單元整合而成的工業領域核心零部件及解決方案科技企業，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業領域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術核心人才，致力于成為一家全面的工業零部件解決方案供應商。
華丞電子傳承了數十年在流量測控、射頻技術和自動化設備等領域的專業優勢，技術積和創新能力。產品迭代升級的同時，華丞電子依據客戶新的產品需求不斷探索研究，深挖技術，創新產品，拓寬產品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統、自動化裝備等系列產品，為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領域提供解決方案。華丞電子布局六大研發/生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創電子科技領域的新篇章，為構建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器
高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS310C數字式氣體質量流量控制器技術參數：
| 產品型號 | CS310C |
| 產品類型 | 高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 |
| 流量量程 | 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 產品精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 響應時間 | ≤0.8sec |
| 工作溫度范圍 | (0~50)°C |
| 耐壓 | 3.5MPa |
| 密封材料 | 金屬密封 Metal |
| 輸入輸出信號 | RS-485,DeviceNet |
| 電源 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
| 閥類型 | 常開或常閉 |
| 溫度系數 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃ |
| 零點飄移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
| 漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
| 表面化學成分 | Cr/Fe ratio ＞2.0,CrO thickness ＞20 Angstroms |
| 表面粗糙度 | 5µinch |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1Kg |
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