極限真空度 | 1Pa | 充氣 | 3路質(zhì)量流量計 |
---|---|---|---|
樣品臺直徑 | 4英寸 | 使用溫度 | -140~300℃ |
探針數(shù)量 | 4個 |
維意真空高低溫真空探針臺支持定制
高低溫真空可以很好的滿足極低溫測試和高溫?zé)o氧化測設(shè):
極低溫測試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試:
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越
特點(diǎn):
1、晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電
極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺針座位于腔體外部,
便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針
的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度
10 micron(有效行程和精度可選);
2、工作臺溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺溫度均勻
性5℃,常溫到-150℃冷卻時間:1小時40分鐘,常溫到400℃加熱時間:40分鐘;
3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機(jī)械泵);
4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試;
5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺、分子泵組、射頻部件等。
維意真空高低溫真空探針臺支持定制