超純水系統設備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，超純水系統設備通常由預處理部分、反滲透主機部分、后處理部分共同組成。

　一、預處理由石英沙過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成，也可以選用超濾系統作為預處理，通常工程造價高一些，預處理主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物，色素、異味、生化有機物。當原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器或阻垢劑加藥系統，有效保護反滲透膜結垢，從而延長反透膜的使用壽命。

二、反滲透主機主要由高壓泵，膜殼，進口反滲透膜組件，在線儀表，控制電氣等組成，只要膜的數量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產水量都能達到額定指標，出水電導率可保證在10us/cm以下（原水電導率小于500 us/cm ，25℃）

三、后處理部分是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設備或EDI設備，根據客戶要求，出水電阻率zui高可達到18.2MΩ.cm，如果是應用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發生器，從而使生產出來的水達到直飲水的標準。