技術規格：
1, 測定參數
Ra,Ra,Rt,Rp,Rv,Rsm,Rq,Rsk,Rku,Rmr(c),Rmr,Rδc,R△q,Rc,Ry, Rmax,Rpm,Rk,Rvk,Rpk,
Pa, Pa, Pt, Pp, Pv, Psm, Pq, Psk, Pku, Pmr(c), Pmr, Pδc, P△q, Pc, PPI
Wa, Wz, Wt, Wp, Wq, Wmr©, Wsm, WCA,WCM,Sm,S,tp, Htp,△q, △a, HSC, 
λa,　λq, Mr1, Mr2, A1, A2,Rz,Pz,Wv,W.profile,BAC,ADC,R profile,P profile.
2，適用規范:JIS B0601-2001 / ISO4287-1997(filter Gauss) R,P,W mode　
JIS B0601-1994(Filter Gauss)
JIS B0601-1982(Filter 2RC)
JIS B0601-1987(Filter 2RC)
ASME B46.1 1-1995(Filter Gauss/2RC)
DIN4776(Filter 特殊Gauss)
3，測定范圍：Z :800um　X:25mm　Z分解能：0.0064um
　　　　　　 檢出器手動上下范圍：33mm
　　　　　　　　
4, 測定倍率：X：100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,自動.　　　　
Y：1,2,5,10,20,50,100,200,500,1000,25mm/λc,50mm/λc
5， Cut-off值：粗度：λc　0.08, 0.25, 0.8, 2.5, R+W,　λs
　　　　　　　波紋度：λc-λf/fh-fl : 0.08~0.8 , 0.25~2.5 , 0.8~8.0mm
6，濾波器：高斯, 2RC, 特殊高斯
7，Levering：全局, 前半部, 后半部, 2點, 曲面
8，測定長度：評價長度方式：λcX1 ~ X9,　任意(max:25mm)
　　　　　　　　　　　　　 JIS(82)mode R+W :0.08~25mm
　　　　　　　　　　　　　 其他:0.08~(λc X9)mm , zui大25mm
9，量測速度： 0.2, 0.5 mm/s
10，返回速度： 0.2, 0.5, 1.0 mm/s
11，屏幕：320x240, 彩色液晶, Touch panel
12，列表機：8 dot/mm 熱感紙打印方式, 紙寬58mm
13，測試條件儲存：USB 隨身碟(適用8GB 以下)
14，數據外部輸出: USB
15，統計處理：平均值, zui大值, zui小值, 標準偏差(n-1)
16，真直度測定精度：0.5um/25mm
17，檢出器：Stylus: R2um鉆石, 測定力0.75mN, 頂角60°(可拆換式觸針)
18，電源：單相AC100 ~ 240V, 50/60Hz
19，Driver Unit尺寸重量: 163 X 66 X 102 mm / 約0.7kg
20，放大器尺寸: 160 X 235 X 85 mm