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OTF-1200X-PLD 多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國(guó),日本,德國(guó)等許多國(guó)家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機(jī),電池制備設(shè)備等

 OTF-1200X-PLD是一款多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐,此款設(shè)備主要包括混氣裝置,加熱爐,基片加熱腔體、靶材濺射腔體和氣壓控制系統(tǒng)組成。可與準(zhǔn)分子激光器配合,進(jìn)行脈沖激光蒸發(fā)鍍膜,而且靶材濺射腔體內(nèi)可安裝3塊靶材,可依次對(duì)3中不同靶材進(jìn)行激光脈沖蒸發(fā)。此款設(shè)備特別適合制作多元化合物薄膜。

 

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 可與準(zhǔn)分子激光器配合進(jìn)行PLD制膜
  • 腔體內(nèi)部可安裝多塊靶材,進(jìn)行多靶激光蒸發(fā)
  • 腔體內(nèi)部靶材可旋轉(zhuǎn)
  • 可對(duì)基片加熱(zui高溫度可達(dá)1200℃)

加熱爐(對(duì)基片加熱)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使殼體表面溫度小于60℃
  • 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層)
  • zui高工作溫度:1200℃
  • zui大功率:1.2KW

腔體

  • 基片加熱腔體為高純石英材料
  • 靶材蒸發(fā)腔體為不銹鋼材料
  • 靶材蒸發(fā)腔體內(nèi)可安裝3塊靶材,并且靶材可旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速:0-30rmp)
  • 兩個(gè)腔體通過(guò)卡箍式法蘭連接(可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
  •  

真空度

  • 10-2Torr(采用機(jī)械泵)
  • 10-5Torr(采用渦旋分子泵)
  • 可在本公司購(gòu)買各種真空泵

窗口

 

  • 采用藍(lán)寶石(Al2O3)
  • 尺寸:Φ25*0.5mm
  • 允許激光的入射角度為30°-90°
  •   
壓力控制系統(tǒng)
  • 一套壓力控制系統(tǒng)安裝在儀器的腔體上,可保證腔體內(nèi)部的氣壓恒定
  • 與混氣系統(tǒng)配合使用,可保證蒸發(fā)腔體中各種氣體的分壓恒定
  •   

混氣系統(tǒng)

  • 配有2路質(zhì)量流量計(jì)混合系統(tǒng)
  • 混氣罐尺寸:Φ80X120mm
  • zui大氣壓:3×106Pa
  • 精度:±1%FS
  • 質(zhì)量流量計(jì)量程:1:1-199sccm
                   2:1-499sccm
  • 可按客戶要求訂制其他量程的質(zhì)量流量計(jì)
  • 可選購(gòu)3-5路混氣系統(tǒng)

等離子射頻電源(可選購(gòu))

  • 可在設(shè)備上安裝300W等離子射頻電源,使腔體內(nèi)的氣體等離子化,達(dá)到等離子化激光蒸發(fā)反應(yīng)鍍膜
  •  

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括密封圈、石英腔體和加熱元件)

儀器尺寸

1300mm*1260mm*820mm

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE質(zhì)量認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
         


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