5400系列 KOFLOC 低成本金屬密封型質量流量控制器/計
- 公司名稱 廣州沃華儀器有限公司
- 品牌
- 型號 5400系列
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2017/7/8 13:59:34
- 訪問次數 763
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DWYER的差壓、壓力、流量、風速、溫濕度、物位、測試儀器、閥門；日本HORIBA和KOFLOC的氣體質量流量計和控制器，浮子流量計，針閥；韓國TK，SUPER LOK，Y-LOK的閥門、焊接、卡套、VCR接頭和日本YAMATO恒溫水槽、干燥箱、電子半導體用高壓脫泡機等實驗室設備
型號5400系列質量流量控制器/計無焊接結構，金屬密封，精確度≤ ±1%，響應≤±1/秒，基本的性能適用于半導體過程控制，而且價格合理。型號5410系列同樣主體的設計價格也十分合理。
特點
通過安裝一個溫度流量傳感器得到高精確的快速回應
通用的常閉型閥門
無焊接構造，金屬密封確保低的泄露
由于膈膜角座閥較少了死區
間距，主體尺寸和連接的設計可以和生產商的控制器兼容
技術指標
| F.S.流量 （N2換算） | 10SCCM-20SLM |
| 閥門方式 | 常閉電磁隔膜閥 |
| 控制范圍 | 2%-*F.S. |
| 響應 | ±2% 在1秒以內 |
| QS option proviodes 1 sec.or less for 0-* to 0-20%responses | |
| 精度 | ±1.0%F.S.以內 |
| 線性 | ±0.5%F.S.以內 |
| 再現性 | ±0.2%F.S.以內 |
| 耐壓 | 980kPa |
| 操作差壓 | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa |
| 5＜F.S.≤20SLM 147kPa-294kPa | |
| 泄漏范圍 | 1×10-11Pa·m3/s 以內 |
| 使用溫度 | 0℃-50℃（精度保證：15-35℃） |
| 連接氣體部分材料 | 外殼：SUS316L |
| 隔膜：Ni-Co | |
| 閥座：PTFE | |
| 封條：Ni，SUS316L | |
| 接頭 | 1/4VCR |
| 電力連接 | Dusb 9-pin male connector per KFC standard |
| 輸入流量信號 | 0-5VDC |
| 輸出流量信號 | 0-5VDC |
| 需求電源供給 | 5400:'+15VDC（±5%）100mA-15VDC（±5%）200mA |
| 5410:'+15VDC（±5%）100mA-15VDC（±5%）100mA |
選型表
| 訂購范例 | 5400 | 1/4VCR | N2 | 20SLM | O | 5400-1/4VCR-N2-20SLM-O |
| 型號 | 5400 | | 5400：質量流量控制器 | |||
| | 5410：質量流量計 | |||||
| 連接方式 | | 1/4VCR | | 標準：1/4VCR | ||
| 介質 | | N2 | | N2：以N2換算 | ||
| 流量 | | 20SLM | | 10SCCM-20SLM（在N2的標準條件下） | ||
| 選項 | | O | O:無選項 | |||
| 選項名稱：QS:快開 | ||||||
| SL:慢開 | ||||||
| LP:低差壓技術指標 | ||||||
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