1200℃預加熱滑動雙溫區PECVD系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 天津中環電爐股份有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/2/27 14:36:55
- 訪問次數 23072
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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,生物產業,石油,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
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產品應用：二
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產品組成：
PECVD系統配置：
1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐
2.滑動系統分為手動、電動滑動，并配置管內測溫系統。
3.預加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質量流量控制系統
6.真空系統（可選配中真空或高真空）
產品特點：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質量好，適用范圍廣，設備簡單。
天津中環電爐股份有限公司 地址：天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號
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