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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>粗糙度儀>ET150 日本Kosaka臺階儀輪廓儀ET150

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ET150 日本Kosaka臺階儀輪廓儀ET150

具體成交價以合同協議為準

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      上海昭沅儀器設備有限公司專業致力于銷售各種科研儀器,代理世界*公司的表面測試及表面處理等產品,公司擁有一批經驗豐富的銷售人員和技術人員組成,著重為各高校,研究所等單位提供集產品、應用和服務于一體的整體解決方案! 

      公司重點致力于大專院校、科研院所實驗和企業生產所需的各種表面處理設備、表面形貌測試儀器及相關電鏡耗材的銷售和技術推廣。

    公司擁有完善的銷售網絡和雄厚的技術力量,始終致力于提供安全、穩定、高性能的實驗儀器設備及專業產品,為您提供快速、滿意的安裝和售后服務。

等離子清洗設備,真空泵,顯微鏡,玻璃碳產品,TEM氮化硅窗口

Kosaka ET150臺階儀 

    株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創立,也是日本*家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定也占有一席無法被取代的地位。


     KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

    ET150配備了各種型號探針,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色 CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。


產品特點:

二次元表面解析,可測量段差

高精度、高分辨率和良好的再現性

FPD面板顯示,可測定微細表面形狀、段差、粗度等

低測定力,可測定軟質材料


主要應用---膜厚測量

制程機臺(如曝光機、濺鍍機、蝕刻機)best recipe 找尋。例如:PVDCVDDLC真空濺鍍薄膜臺階、應力測試及軟質光阻材料等薄膜臺階測量。


技術參數:

型號

ET150

zui大樣品尺寸

φ160x48mm

樣品臺

尺寸

φ160

傾斜度

±2°(X,Y手動)

承重

2Kg

檢出器

觸針力

10μN-500μN(1mg-50mg)

范圍

600μm(0.1nm分辨率)

驅動

直動式(差動變壓器)

觸針

R2μm  頂角60°

X

zui大測長

100mm

直線度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重復性

±5μm(定位)

Y

zui大測長

25mm/手動

Z

zui大測長

50mm

放大倍數

垂直

50-2000000

水平

1-10000

監控系統

攝像裝置

1/3 inch CCD

監視裝置

視頻捕捉板

移動方法

手動

輔助功能

教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等

應用

成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復性

1σ1nm

電源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外觀尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震臺)





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