CDG025D電容膜片真空計 的詳細介紹INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計系列的高精度溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定性能。
高級數字電子元件用于改進真空計的性能,具有一鍵調零功能和設定點調整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優異的零點穩定性,預期使用壽命長達數百萬次壓力循環(包括氣壓突變)。 *的傳感器屏蔽(正在申請)用于保護真空計,使其免受加工污染。
堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。 CDG025D 電容膜片真空計為開機后快速穩定以及從大氣氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
CDG025D電容膜片真空計益處:全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托電源接通后快速穩定暴露于大氣壓后快速恢復防腐陶瓷傳感器的長期信號穩定性溫度補償傳感器防污染保護一鍵調零功能電源范圍廣CDG025D電容膜片真空計典型應用:用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備數據存儲和顯示制造設備工業真空設備常規高精度壓力測量CDG025D電容膜片真空計選型指南:
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