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從結構角度進行分析

1）力矩馬達部分

a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。

b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。

c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。

d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。

e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。

f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。

2）噴嘴擋板部分

a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低，嚴重的引起系統不穩定。

b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。

3）滑閥放大器部分

a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。

b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。

c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。

4）其他部分

密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。

從現象角度分析

（1）閥不工作

原因有：馬達線圈斷線，脫焊；進油或進出油口接反；前置級堵塞，使得閥芯正好卡在中間死區位置，閥芯卡在中間位置幾率較少。馬達線圈串聯或并聯兩線圈接反，兩線圈形成的磁作用力正好抵消。

（2）閥有一固定輸出，但已失控

原因：前置級噴嘴堵死，閥芯被異物卡澀及閥體變形引起閥芯卡死等，或內部保護濾器被贓物堵塞。要更換濾芯，返廠清洗、修復。

（3）閥反應遲鈍、響應變慢等

原因：系統供油壓力降低，保護濾器局部堵塞，某些閥調零機構松動，及馬達零部件松動，或動圈閥的動圈跟控制閥芯間松動。系統中執行動力元件內漏過大等。此外油液太臟，閥分辨率變差，滯環增寬也是原因之一。

（4）系統出現頻率較高的振動及噪聲

原因：油液中混入空氣量過大，油液過臟；系統增益過高；來自放大器方面電源噪音；伺服閥線圈與閥外殼及地線絕緣不好；顫振信號過大或與系統頻率關系引起的諧振現象；頻率相對低的系統而選了過高頻率的伺服閥。

（5）閥輸出忽正忽負，不能連續控制，呈“開關”控制。

原因：伺服閥內反饋機構失效，或系統反饋斷開，出現某種正反饋現象。

（6）漏油

原因：安裝座表面加工質量不好、密封不住。閥口密封圈質量問題，閥上堵頭等處密封圈損壞。馬達蓋與閥體之間漏油，可能是彈簧管破裂、內部油管破裂等因素造成。

其他伺服閥資料可參見往期內容：

1. 比例閥伺服閥故障模式
   

2. 抗燃油對機組運行的影響

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