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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

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-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異,質量可靠,性價比高,環保節能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD  系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統極為理想。

 

特征:

1、與普通CVD相比可以在低溫環境下進行氣相沉積實驗

2、對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制

3、通過工藝調節來控制化學計量

4、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

 

技術參數

開啟式管式爐

  • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
  • zui高工作溫度1200℃(小于1小時)
  • 連續使用溫度1100
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
  • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
  • 可設置30段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護
  • 加熱區長度為200mm,恒溫區長度為60mm(+/-1°C)

      
                 
    (點擊圖片查看詳細資料)

等離子體射頻電源

  • 輸出功率: 5 -500W可調
  • 穩定性為+/-1%
  • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W max
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
  • 噪聲<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
     

真空法蘭和接頭

  • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
  • 左端法蘭上安裝有防腐型數字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
  • 右端法蘭設計為KF25接口,上面配有泄氣閥,擋板閥和兩個KF25卡箍
  • 儀器中所配的數字真空計,可以不用因使用氣體的不同而進行校正,同時還具有防腐功能(請點擊圖片查看詳細介紹)

      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 與本公司管式爐配套使用,可使其真空度達到10-2 torr
  • 進氣端帶有儲氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環境和人體健康)
     

產品尺寸和重量

外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統

  • 防腐型小型三路浮子混氣系統
  • 精密氣液混合系統
  • 三路質子混氣系統

質保期

一年質保期,終生維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

質量認證

CE Certified



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