功能特點

■ 可以實現高溫、真空、氣氛等條件下測量薄膜方塊電阻;

■ 可以實現常溫，變溫，恒溫條件的 I-V、R-T、R-t等測量功能;

■ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv;

■ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化的曲線;

■ 可以與Keithley 2400或2600數字多用表配套;

為了更方便的研究高溫條件下半導體或絕緣材料的導電性能，佰力博科技已經研發出HRMS-800G高溫四探針測量系統，該系統可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,,該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于變溫、真空及氣氛條件下測試半導體材料電學性能的*測量系統。

詳細產品鏈接：http://www.partulab.com/gwstz/hrms800gws.html

客 服 熱 線：

■ 技術規格

溫度范圍：室溫-600°C 升溫斜率：3°C /min (典型值）

顯示精度：±0.1°C 控溫精度：±1°C

電阻：10～106 Ω 電阻率：10～106 Ω.cm

方塊電阻：10～106 Ω/□ 可測半導體材料尺寸 ：薄膜直徑： Φ15～30mm

探針間距：2±0.01mm 探針壓力: 0～2kg可調,zui大壓力約2kg

針間絕緣材料：99陶瓷或紅寶石 針間絕緣電阻：≥1000MΩ

探針材料：碳化鎢 數據傳輸：2個USB接口

HRMS-800 高溫四探針測量系統HRMS-800 高溫四探針測量系統HRMS-800 高溫四探針測量系統

■ 訂購信息

HRMS-800 高溫四探針測量系統 Part Number

HRMS-800  測量溫度 室溫-300°C HRMS8H001

HRMS-800  測量溫度 室溫-600°C ,帶真空氣氛 HRMS8H002

01測量儀表選件  

/A 2400數字源表、USB-GIPB卡及測量電纜 HRMS8H01A

/B 渦旋式干泵 HRMS8H01B

/C 旋片真空泵 HRMS8H01C

附件  

薄膜四探針更換套件 PLHS-4

溫度控制板替換件 PLWKB

高溫傳感器替換件 PLK-1000

■ NOTE

標準配置含主機、固體園片樣品測量夾具、測量分析軟件、標準樣品工具箱、電源線、測量導線、測試報告、操作說明書。