SU-8010 SU-8010掃描電鏡
| 參考價(jià) | ￥ 200000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 上海富萊光學(xué)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SU-8010
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/2/11 6:52:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 2106
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Hitachi SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào)，實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè)；結(jié)合選配的STEM探測(cè)器，還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè)；此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測(cè)器，采集感生電流圖像，*豐富了信號(hào)的采集，對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。
日立電子顯微鏡SU8020特點(diǎn)：
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì)，不需噴鍍，可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成
項(xiàng)目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次電子分辨率 | 1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm） | |||||||
1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||||||||
加速電壓 | 0.1～30kV | |||||||
觀測(cè)倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |||||||
60～2,000,000（顯示器輸出） | ||||||||
樣品臺(tái) | ||||||||
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸 | REGULUS樣品臺(tái) | ||||||
行程 | X | 0～50mm | 0～110mm | |||||
Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5～70° | |||||||
R | 1.5～30mm | 1.5～40mm | ||||||
zui大裝載尺寸 | 100mm（zui大） | 150mm（zui大） | 150mm（zui大） | |||||
150mm（選配） | 200mm（選配） | |||||||
探頭 | ||||||||
標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
| STEM | 明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像 | ||||||
YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |||||||
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 標(biāo)配 | |||||||
物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |||||||
電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |||||||
真空系統(tǒng) | ||||||||
離子泵 | 3臺(tái) | |||||||
分子泵 | 1臺(tái) | |||||||
機(jī)械泵 | 1臺(tái) | |||||||
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