技術參數 

1.高真空模式：3.0nm 低真空模式：4.0nm
2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切換
3.樣品臺X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree R:360degree
4.加速電壓0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA
5.真空系統馬達驅動臺能譜分析接口穩壓電源循環水箱 
主要特點

1.既保證高電壓下的高分辨率，也可提供低電壓下高質量的圖像。
2.全自動電子槍
3.高靈敏度半導體背散射探頭
4.超級圓錐形物鏡，高精度的變焦聚光鏡系統
5.大樣品室，全對中的樣品臺，大視野觀察范圍可觀測到2厘米見方的樣品 
 

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儀器介紹

JSM-6360LV鎢燈絲掃描電鏡，是日本電子株式會社在2002年推出的新型號數字化掃描電鏡。是在近幾年銷售深受好評的JSM-5610LV的基礎上，將電子光學系統進行技術革新，并保留了JSM-5610LV良好的操作界面和出色穩定的控制系統，堪稱世界上的掃描電子顯微鏡。主要特點為全數字化控制系統，高分辨率、高精度的變焦聚光鏡系統、全對中樣品臺及高靈敏度半導體背散射探頭；用于各種材料的形貌組織觀察、金屬材料斷口分析和失效分析。該型號在很多大學、研究院所及制造業被廣泛使用。