化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>其它干燥設(shè)備>CY-O1200-60-4CLV-PE 四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng)
CY-O1200-60-4CLV-PE 四路質(zhì)子混氣管式pecvd系統(tǒng)
參考價 | ¥ 70000 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-O1200-60-4CLV-PE
- 產(chǎn)地 高新區(qū)翠竹街6號9號樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數(shù) 531
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)品特點 | 該套PECVD是由500W交流等離子體與、開啟式1200度管式爐、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成 |
開啟式管式爐 | 工作溫度:1200℃ 爐管尺寸:Φ50,Φ60,Φ80都可用 溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 加熱區(qū)長度:440mm 恒溫區(qū)長度:150mm 功率:AC 220V 4KW |
等離子射頻電源 | 輸出功率:50-500Wzui大可調(diào)±1% RF頻率: 13.56MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào) 冷卻:風(fēng)冷 輸入功率:1KW AC 220V |
真空泵和閥門 | 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接 真空度可達(dá)10-3torr 數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr |
質(zhì)量流量計 | 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥,不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入 進(jìn)氣口:采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭 |
超溫報警 | 有 |
過流保護(hù) | 有 |
斷偶提示 | 有 |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年,終身保修 |
欲了解產(chǎn)品價格及其他產(chǎn)品請
聯(lián) 系 人:汪 電 話: