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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>化學機械拋光機(CMP)> CP-4化學機械拋光設備

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CP-4化學機械拋光設備

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北京華躍英泰科技有限公司是一家經營*的精密測量儀器和*的模擬仿真產品的高科技公司,公司主要代理的產品有美國Bruker公司的原子力顯微鏡,光學輪廓儀,摩擦磨損測試儀和微納壓痕劃痕測試儀等相關設備,加拿大Presagis公司的三維視景、虛擬儀表及戰術對抗等系列模擬仿真產品,美國Labsphere公司的積分球、通用均勻光源系統及相關光電產品,我們為客戶提供完善的技術咨詢,銷售,及應用服務。我公司總部設立在北京,并且已經取得了政府許可的進出口貿易權。在香港、沈陽已經成立辦事處,即將在上海、武漢等地設立辦事機構。
   北京華躍英泰科技有限公司將當今世界*的科研設備*給國內從事材料科學、分子生物學、細胞生物學、生物化學、生態學、免疫學、環境科學、化學科學等學科研究人員,以及平板顯示、LED和半導體材料相關的高科技企業。我公司作為專業的產品及服務提供商,始終不懈地跟蹤各學科的發展前沿,努力將較早、*的方法和技術*給國內的研究人員,以使中國的研究發展緊跟世界潮流。

   北京華躍英泰科技有限公司的虛擬仿真系統部致力于主業提供基于多平臺的虛擬現實和模擬仿真技術的可視化解決方案,包括人機界面(HMI)的系統開發、戰場環境生成及武器驗證系統、三維可視化解決方案、固定翼和旋翼飛機的飛行數據包開發系統等等,我們在模擬仿真領域積累了大量客戶和豐富經驗。

   北京華躍英泰科技有限公司匯集了一支年輕、專業、朝氣蓬勃、富有團隊精神的隊伍,本著“*、飛躍”的經營理念和“踏實、專業”的精神,華躍英泰將竭誠為您提供完善,專業的服務。

布魯克原子力顯微鏡、光學輪廓儀、摩擦磨損、臺階儀、X-Ray

CP-4化學機械拋光設備

CP-4是世界zui通用和的臺式化學機械拋光設備(CMP),可以很好的滿足您的研發需求。*軟件控制,可以對直徑4英寸的晶圓和磁盤進行拋光。 CETR-CP-4可檢測原位摩擦力,摩擦系數,溫度,下壓力,磨損,聲發射等,可以模擬所有的參數,如速度,負載和流量,來模仿一個大的CMP系統。


用于化學機械拋光的研究和開發的各個方面
• 測試和開發各種不同的微粒,材料,濃度,氧化劑,抑制劑等的拋光液
• 測試和開發不同的材料,溝槽形狀,尺寸,彈性,壽命等
• 測試和發展拋光墊調節裝置來優化拋光墊的損耗率,修整,效率等
• 開發CMP定位環材料來優化摩擦,磨損,壽命等
• 測試去除率,重復性缺陷,工藝優化等,研究或開發各種應用的各種材料
• 半導體方面 - 銅,Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
• 化合物半導體 - 砷化鎵,銦,磷化物,汞,鎘
• 應用生物材料 - 牙,骨,鈦,鋼鐵制品等。
• 光電材料 – LED,藍寶石,紅外窗口拋光激光材料,顯微鏡頭,微光學,鈮酸鋰,鉭酸鋰,磷酸氧鈦鉀等。

同時實時監測及處理
• 通過在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器,測量負載和摩擦力,
• 通過在晶圓墊和調節墊界面處的擁有的傳感器和放大器,測量接觸噪聲
• 使用聲波表征的缺陷、劃痕,并在加工過程中分層
• 監測流入的拋光液,拋光片表面和流出廢液的溫度 .



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