XTC/3系列 膜厚控制儀
- 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 XTC/3系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/3/31 20:01:15
- 訪問次數(shù) 6385
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
|---|
膜厚控制儀
用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術(shù)，提供可靠的模式跳躍防止功能，可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀，可高度準(zhǔn)確地控制鍍膜速率與膜層厚度，具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力。容易安裝和穩(wěn)定的可靠性，可確保高的生產(chǎn)率。
特 點(diǎn)
■有單膜層和多膜層型號
■ModelLock技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差
■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動(dòng)晶體切換，用于高生產(chǎn)率
■XTC/3M多膜層型號支持多至99個(gè)工藝過程，999個(gè)膜層，32個(gè)鍍層，2個(gè)
傳感器和兩個(gè)源
■XTC/3S單膜層型號支持多至9個(gè)鍍層，2個(gè)傳感器和兩個(gè)源
■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■為便于檢索，可*的和描述性的薄膜與過程名稱
■有以太網(wǎng)連接軟件
■單獨(dú)運(yùn)行（無需計(jì)算機(jī)）或用PC運(yùn)行的Windows?軟件選件
■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見（限于XTC/2功能和指令組）
膜厚控制儀
技術(shù)規(guī)范
功能，參數(shù)，或技術(shù)規(guī)范 | XTC/3S單層膜 | XTC/3M多層膜 |
測量分辨的頻率變化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
測量區(qū)間 | 0.25秒 | 0.25秒 |
厚度和速率分辨/測量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
基頻＝6M Hz | 基頻＝6M Hz | |
支持XTAL2轉(zhuǎn)換 | 是 | 是 |
計(jì)算機(jī)通訊 | RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件 | RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件 |
大RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
繼電器數(shù) | 12標(biāo)準(zhǔn), 無事例可 | 12標(biāo)準(zhǔn), 事例可 |
可編程繼電器功能數(shù) | 1 | 1 |
每個(gè)繼電器功能 | 1 | 1 |
繼電器電壓額定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 | |
輸入數(shù) | 8TTL, 24伏直流大 | 8TTL, 24伏直流大 |
可編程輸入功能數(shù) | 1, 無事例可 | 1, 事例 |
記入儀輸入數(shù) | 1 | 1 |
手動(dòng)電源/手持控制器 | 是 | 是 |
排風(fēng)扇 | 無 | 無 |
測試模式 | 是 | 是 |
擋光器延遲 | 是 | 是 |
次級工具 | 是 | 是 |
大允許相移頻率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
機(jī)箱尺寸 | 1/2機(jī)架,2U高度 | 1/2機(jī)架,2U高度 |
速率和膜厚顯示分辨 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 |
顯示膜厚分辨=1A | 顯示膜厚分辨=1A | |
通過輸入選擇鍍層 | 是 | 否 |
用戶指導(dǎo)語言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
控制環(huán) | PID | PID |
數(shù)據(jù)登錄 | 是 | 是 |
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能 | 是 | 是 |
樣品和保持 | 是 | 是 |
坩堝選擇 | 是 | 是 |
坩堝反饋輸入 | 是 | 是 |
選擇控制電壓極性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
15-位分辨率 | 15-位分辨率 | |
程序鎖定碼 | 是 | 是 |
用戶標(biāo)簽過程/鍍層 | 否 | 是 |
XTC/2 RS232通訊兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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