曝光機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2016/4/12 20:45:23
- 訪問次數 604
產品標簽
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URE-2000系列光刻機
型號：17
一. 技術特征
1、采用多反射鏡實現均勻照明；
2、采用球氣浮找平，調平精度高；
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，
2、采用球氣浮找平，調平精度高；
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，
并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光
結果和方便存儲；
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）
5、手動上下版、樣片，手動調平；手動分離間隙。
6、快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）
7、采用200W進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度；設備外形美觀精制
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）
5、手動上下版、樣片，手動調平；手動分離間隙。
6、快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）
7、采用200W進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度；設備外形美觀精制
性能非常可靠
二、主要技術指標：
1、曝光面積：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對準精度： ±1µm；
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm（可擴展為15mm）；
7、照明均勻性：±6%（ф100mm 范圍）；
8、掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm （420nm以上波長小于0.2mW/cm ）l
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：650mm（長）´600mm（寬）´900mm（高）
1、曝光面積：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對準精度： ±1µm；
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm（可擴展為15mm）；
7、照明均勻性：±6%（ф100mm 范圍）；
8、掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm （420nm以上波長小于0.2mW/cm ）l
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：650mm（長）´600mm（寬）´900mm（高）
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