CYG500系列微型、薄型動態(tài)壓力傳感器

一、CYG502型超微型壓力傳感器(絕壓)

標稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實驗中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸*小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用當代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度。離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計、從而實現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的特點，為超微型傳感器的實現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

使用了硅–硅鍵合技術(shù)，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф2.15mm，傳感器的可選量程為50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa絕壓。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當寬的工作溫區(qū)，可達-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)良的高頻動態(tài)特性，其較低量程的敏感元件的固有頻率＞200KHz，上升時間為亞微秒。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv   典型值80mv   *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流    1mA 、1.2mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

外形尺寸圖       直徑：2.15mm，長度：18mm、11mm、7mm可選

CYG502系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜（Φ1.8mm五芯屏蔽電纜）長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG502系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1502傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

二、CYG503型、504型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動力學(xué)研究試驗中，要求安裝尺寸小，不擾動流場，動態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動態(tài)壓力分布測量而設(shè)計的。應(yīng)用于如發(fā)動機進氣道壓力畸變、喘振等的空氣動力學(xué)性能測定。

CYG503的壓力敏感元件采用當代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細管中。絕壓型傳感器參考壓力腔是芯片背面密封的真空腔，表壓型傳感器的參考壓力腔是通過一根更細的不銹鋼毛細管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。

CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф3.5mm(*小外徑可定制Ф3mm)，長度為18mm，特制的短柱形CYG503AS將長度縮短為12mm。絕壓型壓力傳感器的可選量程為50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa絕壓。

CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標準外徑為Ф3.5mm，長度為18mm，背壓引出毛細管長為12mm。表壓型壓力傳感器的可選量程為25、50、100、150、200、400、600、1000、1600、2500 KPa表壓力。

CYG503的設(shè)計制作已獲得國家發(fā)明*、*號為：200410103083.3。

CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種，絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見附圖。

CYG504G微型微壓壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф4mm，長度為18mm，特制的短柱形CYG504GS將長度縮短為12mm。表壓傳感器可選量程為10、20、40 KPa相對壓力。

CYG504A微型真空度壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф4mm，長度為18mm，特制的短柱形CYG504AS將長度縮短為12mm。真空度壓力傳感器可選量程為10、20、40 KPa絕壓。

CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓，因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。但它有相當寬的工作溫區(qū)和非常好的動態(tài)頻響。可使用的動態(tài)頻響低至零頻、高至數(shù)十千赫茲。表面增加涂復(fù)保護可改善介質(zhì)適用能力，但以犧牲頻響特性為代價。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv   典型值80mv   *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG503系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG503系列產(chǎn)品為方便不具有或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1503傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

三、CYG505型、506型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標稱尺寸外徑Φ5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動力學(xué)研究。縮模實驗要求的外形尺寸小，對流場擾動小，量程低、靈敏度高，動態(tài)頻響好而專門設(shè)計的微型低量程脈動壓力傳感器。

CYG505的壓力敏感元件采用當代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的力學(xué)構(gòu)件設(shè)計、版圖布局設(shè)計、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達20KPa的量程和優(yōu)良的線性度，滿足了水工縮模測量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時請與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護，微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度，PVC管的*長度限制為7m。

CYG505為表壓模式，標準壓力量程為15、25、40、60、100、160、250、400、600、1000KPa。為方便水工用戶，也可以按mH₂O為單位訂貨量程為2、3、5、10、20、50、100。

CYG505A絕壓模式，標準壓力量程為50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa

CYG505的設(shè)計及制作已獲得國家發(fā)明*，并獲得2007年度中國*國家發(fā)明獎，為：ZL200310106329.8。

CYG505傳感器的低量程產(chǎn)品的固有頻率達60KHz~138KHz，為激波管試驗驗證。它具有0～20KHz的使用帶寬，上升時間小于1us，滿足水工測量的動態(tài)要求。

CYG506微型螺栓安裝型壓力傳感器是為了方便一些用戶使用要求的CYG505的衍生品種，它的外形尺寸見附圖。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值20mv  典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -20℃～+80℃（可應(yīng)要求擴寬）

補償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴寬）

過載能力         額定量程的200%(表壓型*至1.2MPa)

加速度靈敏度     ＜0.002%FS/g

CYG505系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜長度為5m，在5m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）超過5m也可以（按長度收費），但防水保護的PVC管*長只能套7m。

CYG505系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1505傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

四、CYG507型微型微壓傳感器（表壓）

標稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動力學(xué)研究流場分布設(shè)計的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實驗工況。傳統(tǒng)的用毛細管引出壓力用掃描閥巡測的方式，因毛細管頻響的損失而測得的為穩(wěn)態(tài)流場分布。現(xiàn)場直接布置微型傳感器的方法可獲得準確的動態(tài)流場分布。

CYG507的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應(yīng)力互補設(shè)計和無應(yīng)力微封裝技術(shù)實現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。

CYG507為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產(chǎn)品量程2.5KPa以上的外徑為Φ6mm，2.5KPa以下的量程的外徑為Φ8mm，長度均為18mm，螺紋型的螺紋為M10×1。外形見附圖。

CYG507采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG507采用準齊平無管腔的封裝設(shè)計，因此有優(yōu)良的動態(tài)特性，可用頻率即使是較低量程500Pa的品種可達數(shù)千赫茲以上。

CYG507的可選量程為1、1.6、2.5、5、10KPa。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值20mv   典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值2 KΩ  典型值5 KΩ  *值8KΩ

輸入工作電流     2mA或1.5mA

工作溫度范圍     -40℃～+105℃

補償溫度范圍     -10℃～+60℃

過載能力         額定量程的300%

CYG507系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG507系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1507傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

五、CYG508型微型高壓傳感器（表壓）

標稱尺寸外徑Φ8mm的園柱形微型高壓傳感器CYG508原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測量高頻動態(tài)高壓設(shè)計的，是高頻動態(tài)壓力傳感器CYG401的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測井等要求小尺寸安裝的動態(tài)高壓測試用途。

CYG508的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造，采用了背面齊平承壓、無管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時間，確保了高頻動態(tài)壓力測試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG508微型高壓傳感器為表壓（2MPa以下時）或密封表壓（2MPa以上時）模式，其外形有標準的小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標準螺紋為M10*1與M12*1），詳見外形圖。（2.5MPa以下量程外徑Φ10mm）

CYG508的標準量程為1、1.6、2.5、4、6、10、16、25、40、60MPa，其余量程需協(xié)商特訂。

CYG508適用于對硅、玻璃、不銹鋼，環(huán)氧樹脂膠相兼容的任何氣、液體介質(zhì)。

固有頻率及上升時間：                               可用帶寬：0～1/3固有頻率

性能指標參數(shù)

注：*為部分40MPa以上量程參數(shù)

非線性           ±0.2％～±1％

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -40℃～+125℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms瞬態(tài)高溫）

補償溫度范圍     -10℃～+60℃(其它溫度段可選)

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.0005%FS/g

CYG508系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出微型電纜長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG508系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1508傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz、響應(yīng)頻帶0～100KHz或響應(yīng)頻帶0～200KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

六、CYG511型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG511傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG511的極薄的用于柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG511的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG511為絕壓測量模式，它的標準量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

CYG511外形為薄園扣式。標稱直徑為ф8 mm，厚度為2.2 mm，引出線為5線柔性電線，長度為1m，在1m終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。

CYG511由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機硅凝膠保護表面及電極的CYG511S，有機硅凝膠會有些降低其動態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機材料覆蓋保護的產(chǎn)品CYG511P，由于保護膜厚度為um量級，因此對動態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長及有較多的成本增加。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG511系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG511系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1511傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

七、CYG512型超薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風洞中超薄形模型上下表面壓力場分布設(shè)計的，是CYG511的改進型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大，厚度很小，不能或不容易挖坑貼埋，只能貼于表面的工況設(shè)計的。1mm左右的厚度使其對流場的影響減小到很小的程度。

CYG512使用了CYG511同樣的*的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片，具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學(xué)特性。由于精密設(shè)計與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時，也就大大減小了敏感元件與傳感器進壓殼體封裝空間的容積，將淺型管腔對動態(tài)頻響的影響減至*小，因此它具有優(yōu)良的動態(tài)特性。

CYG512的標準量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

CYG512的有兩種外形尺寸：一種為薄扣形。ф8 mm直徑，總厚度為1.2 mm；一種為薄條片形，6×10×1mm引出線均為4mm寬，0.15mm厚，1m長柔性引線。薄扣形為不銹鋼結(jié)構(gòu)，上表面超薄不銹鋼薄膜上有激光鉆刻的均布式和螺旋線形進氣篩孔。薄條式無頂蓋，僅在貼裝敏感元件處復(fù)蓋很薄的有機硅保護膜，用戶可接自己的實用工況需求進行選擇。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv    *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5 mA（表壓型）  1mA（絕壓型）（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG512系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG512系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1512傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

八、CYG513型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG513傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG513的極薄的用于柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG513的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG513為表壓測量模式，它的標準量程在2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可選訂。

CYG513外形為薄園扣式。*小直徑為ф10mm、厚度為4 mm，參考壓力既可在背面開口引出（513G），也可以在側(cè)面引線部用毛細管引處（513D），引出線為5線柔性電線，長度為1m，在1m終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。（也可用Φ1.75mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm多芯屏蔽電纜出線）

CYG513由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動力學(xué)用途。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬赫茲頻帶。

性能指標參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時漂JB＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG513系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）

CYG513系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1513傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

九、CYG514型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG514型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將薄的CYG514傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝，因此它基本上不影響被測流場。

CYG514的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG514外形為薄園扣式。標稱直徑為ф11 mm，厚度為2.8 mm(帶出線護管型厚度為3mm)，引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器。

CYG514由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機硅凝膠保護表面及電極的CYG514S，有機硅凝膠會有些降低其動態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機材料覆蓋保護的產(chǎn)品CYG514P，由于保護膜厚度為um量級，因此對動態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長及有較多的成本增加。

CYG514的標準量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）或12VDC

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+80℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

十、CYG515型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG515型薄形壓力傳感器是專為復(fù)雜環(huán)境下空氣動力學(xué)研究中，模型表面壓力場分布設(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將CYG515傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG515的超細電纜引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG515的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。

CYG515外形為薄園扣式。1:標稱直徑為ф11 mm，厚度為3.2 mm(帶出線護管型，線徑ф1.7mm)。 2:標稱直徑為ф12 mm，厚度為4 mm(帶出線護管型，線徑ф2.2mm*)。3: 標稱直徑為ф12 mm，厚度為5 mm(帶出線護管型，線徑ф2.5mm抗干擾*)。引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點處接有內(nèi)代恒流源的電橋補償平衡器（尺寸ф12mm×25mm）。

CYG515由于用敏感元件背面承壓，因此它適用于無腐蝕性的氣液體測量。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜：如水中或戶外露天等環(huán)境中使用。

性能指標參數(shù)

量程0～50KPa、100KPa、150KPa、300KPa、400KPa、800KPa、1200KPa、2400KPa (絕壓)

滿量程輸出       *小值60mv  典型值100mv  *值150mv

初始零位         *小值－20mv  典型值0mv  *值20mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值4KΩ  *值5 KΩ

輸入工作電流     1.2mA（恒流源）或12VDC

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補償溫度范圍     -10℃～+60℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

十一、CYG516型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG516型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG516傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG516的Φ4mm超細導(dǎo)氣的電纜可直接貼在模型表面上（參考管可以與電纜分離，也可與電纜一體）。因此它基本上不影響被測流場,同時解決了參考拉力的引出。

CYG516的壓力敏感元件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG516為表壓測量模式，它的標準量程在2、5、10、25、40、60、100KPa可選訂。

CYG516外形為薄園扣式。*小直徑為ф15mm、厚度為5.9 mm，參考壓力側(cè)面通過導(dǎo)氣電纜線部引出，引出線為5芯屏蔽電纜。 CYG516由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動力學(xué)用途。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬赫茲頻帶。

性能指標參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時漂JB＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

測量介質(zhì)溫區(qū)     -55℃～+120℃

工作溫度范圍     -40℃～+80℃

補償溫度范圍     0℃～+60℃

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG516系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1516傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

十二、CYG522型薄形水工壓力傳感器（表壓）

CYG522型薄形水工壓力傳感器是專為水動力學(xué)研究中，水洞、水槽中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG522傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG522的極細的電纜線（Φ1.75mm）可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG522的壓力敏感組件采用當代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。

CYG522為表壓測量模式，它的標準量程在10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可選訂。

CYG522外形為薄園扣式。*小直徑為ф10mm、厚度為5 mm，參考壓力既可在背面開口引出，也可以在側(cè)面引線部用毛細管引處，引出線為5線屏蔽電線。（外型特殊要求可定制）

CYG522由于用敏感組件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于與硅、玻璃、不銹鋼相容介質(zhì)測量。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬赫茲頻帶。

性能指針參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時漂JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值25mv  典型值80mv  *值130mv

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -40℃～+80℃

測量介質(zhì)溫度范圍 -55℃～+120℃

補償溫度范圍     0℃～+70℃

超載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG522系列產(chǎn)品的標準產(chǎn)品引出屏蔽電纜線長度為1m，在1m的末端有為傳感器信號調(diào)理與補償設(shè)計的小型平衡管，為方便用戶，也可選擇在傳感器內(nèi)部選擇微型組件直接補償，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費服務(wù)）如電纜長度也可按照用戶需求訂制（20元/米）

CYG522系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1522傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（回應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

十三、CYG571微型滲透水壓力傳感器（絕壓、表壓）

該產(chǎn)品力敏元件利用硅壓阻效應(yīng)，通過MEMS工藝及微封裝技術(shù)相結(jié)合制作而成，當敏感元件感受到壓力作用時，將會輸出一個與壓力成正比變化的電壓信號。

該產(chǎn)品適用于小尺寸模型中非飽和以及飽和土體中滲透水壓測量，通常與動態(tài)土應(yīng)力傳感器配套使用。該產(chǎn)品具有微小的外型尺寸、較寬的量程范圍、優(yōu)異的靜態(tài)特性以及*的穩(wěn)定性，較常規(guī)滲透水壓力傳感器具有更高的靈敏度。

CYG571為表壓模式，標準壓力量程為2、5、10、15、25、40、60、100、200、400、600、1000KPa。為方便水工用戶，也可以按mH₂O為單位訂貨.

CYG571A絕壓模式，標準壓力量程為50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa

性能指標參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流/電壓     1.2/1.5mA（恒流源），12VDC(恒壓源)

表壓型：

測量介質(zhì)溫度     -40℃～+120℃

工作環(huán)境溫度     -20℃～+60℃（可應(yīng)要求擴寬）

補償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴寬）

絕壓型：

測量介質(zhì)溫度     -40℃～+120℃

工作環(huán)境溫度     -30℃～+105℃（可應(yīng)要求擴寬）

補償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴寬）

過載能力         額定量程的200%(表壓型*至1.2MPa)

加速度靈敏度     ＜0.002%FS/g

電纜出線：Φ2.2mm屏蔽多芯電纜/Φ2.5mm雙屏蔽雙絞多芯電纜可選(表壓型外套防水導(dǎo)氣PVC管)

外形尺寸圖(也可特殊設(shè)計訂制)：S為超短款其透水石不可拆卸型，標準型其透水石為可拆卸型，標準透水石直徑Φ4mm，如需透水石直徑加大，傳感器直徑也需隨之加大。

CYG571系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場實驗與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標準輸出的CYG1571傳感器，信號放大調(diào)理部份分體裝在一個與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出或4～20mA的輸出、方便用戶與采集接口。