EMS550 離子濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 11 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 桑戈國際貿(mào)易(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EMS550
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2021/2/3 11:02:10
- 訪問次數(shù) 3219
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油 |
---|
離子濺射鍍膜儀
什么是離子濺射鍍膜?在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,當出現(xiàn)輝光放電時,陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標材料,其結(jié)果是濺射出來的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽極上)表面形成一層薄膜,均勻分布在樣本的表面,這個過程就叫離子濺射鍍膜。
陰極材料通常使用金,習慣稱之為金靶,故離子濺射鍍膜儀常常又稱噴金儀、離子濺射鍍金儀、離子濺射噴金儀等等。
EMS公司提供系列產(chǎn)品,型號有EMS500、EMS550、EMS575X、EMS575T、EMS650、EMS650T、EMS675、EMS3000等等,下面我們將一一列出傳品的詳細參數(shù)供大家選擇使用。
一、EMS550和EMS500
EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺,可傾斜,適合各種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè),全自動控制保證獲得準確的鍍層厚度。 低電壓濺射、冷濺射、細顆粒等功能的使用,大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm(6英寸),非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(可選)??蛇x靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設(shè)計在儀表板上,使用方便,滿足不同學科的用戶使用要求。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣針閥(此閥為電磁閥),一旦設(shè)置,就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。
EMS 550本儀器為全自動操作,可控制獨立的真空泵。EMS500是EMS550的手動版本,其樣品臺不帶自動旋轉(zhuǎn)功能,其它參數(shù)與550*相同。下圖為EMS550的外觀圖片:
性能特征: · 旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺 · 高質(zhì)量鍍層厚度(2nm 金膜). 準確的可重復性能 均勻沉積厚度 復合樣本固定器 · 全自動控制 低耗冷卻系統(tǒng),無需冷卻樣本及樣品臺 低壓濺射 20nm(或20埃) 微電子控制 聚碳酸脂安全殼體
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
二、EMS575 HIGH RESOLUTION SPUTTER COATER(EMS575X和EMS575T) EMS-575T是一款渦輪泵雙頭高分辨率噴金儀。EMS-575T樣本放置在旋轉(zhuǎn)樣品臺上(the rotary stage),蓋好蓋子(the chamber lid),按下啟動按鈕,渦輪分子泵開始加速,5秒鐘后,機械泵開始啟動,同時十秒氣體排空程序啟動,兩個泵同時運行確保一個高真空。當渦輪泵加速,它的速度由柱狀圖來標示,到達速度的一半時,真空計扭至自動狀態(tài)。當腔內(nèi)氣體壓降為10-4 mbar,排氣開始,腔內(nèi)氣壓維持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之間,排氣的蕞后階段,靶材按照預(yù)訂鍍膜時間開始噴鍍。鍍膜需要兩種不同金屬的,不需要關(guān)泵,繼續(xù)濺射另一種金屬。噴鍍完成后,兩個泵停止,排氣閥排氣。 儀器質(zhì)保期2年。模塊化的單元結(jié)構(gòu)使得儀器維護方便,摘掉問題模塊,換上無問題的模塊,儀器即可很好的運行,一點不會耽誤實驗進程。 性能特征: · 全自動一鍵式操作,微處理器數(shù)字控制方式,可預(yù)設(shè)參數(shù) · LCD屏實時顯示狀態(tài)參數(shù) · 質(zhì)保期:標準保修期為一年 · 高分辨率精細鍍層(不超過0.5nm的鉻顆粒大?。?/span> · 薄金屬鍍層,典型5nm厚 · 渦輪分子泵 · Peltier冷卻雙濺射頭,無需冷卻水 · 雙濺射頭:一次真空條件下,可順序濺射兩種不同的材料,對于需要依次噴鍍兩種金屬的樣品特別適用 · 磁控濺射靶源設(shè)計 · 旋轉(zhuǎn)機械泵為備用泵,機械泵為外部安裝式 儀器參數(shù):
EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶(用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材);面板式控制,蕞佳的人性化設(shè)計;濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置,包括控制排氣的電磁閥(自動控制),可以獲得準確的可重復的鍍膜厚度;濺射頭互鎖,EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用;EMS 650可控制獨立的真空泵。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個功率為60L/秒的渦輪增壓泵,能夠獲得更高更潔凈的真空。
性能特征: 全自動控制 低能冷卻系統(tǒng)((功率是6W) 低電壓濺射(100V,DC;每分鐘溫度升高不到2°C) 鍍膜厚度準確(2nm金粒) 準確的可重復性 鍍膜厚度20nm或200A(掃描電鏡) 微電子控制 三個靶臺同時濺射 聚碳酸脂安全外殼 產(chǎn)品參數(shù):
|