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Leica DM8000M-CDM CD測量設備

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      德國徠卡顯微系統公司專業生產:DVM5000HD高清光學數碼顯微鏡,DVM2500實時動態三維光學數碼顯微鏡,DM8000M,DM12000M晶圓檢查顯微鏡,FPD,COG,導電粒子檢查顯微鏡,DM8000M-UV,DM12000MUV OLED檢查顯微鏡,DM系列CD測量設備,DM系列鑄造合金孔隙率檢測顯微鏡。


       德國LEICA 徠卡晶圓和FPD檢查顯微鏡LEICA DM8000M LEICA DM12000M  是經典的INM100,INM200,INM300顯微鏡的較早換代產品  產品特性● 0.7倍高級宏觀物鏡視野達到40毫米徠卡的立體斜照明,可以快速檢查晶圓表面的微小裂紋所有物鏡均帶電子CODE,可被軟件自動識別,刻度尺自動伸縮,無需自選徠卡的超級暗場術背景更黑缺陷一目了然 ● UV高分辨率,可以快速直接觀察到120納米的線條立體UV觀察,可以對凸塊,溝槽側壁清晰地觀察大型載物臺搭載:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圓全面檢查(DM12000M)● 采用高NA的透射光聚光鏡,圖象更銳利多種觀察方式,多種照明方式,多種附件以滿足不同應用要求透射和反射照明可同時使用,*提高液晶基板觀察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 產品特點縮短檢查用時,提高檢查效率自動聚焦附件透射光檢查照明*的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式,甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實現快速和精確的自動對焦,甚至觀察方式轉換時也能實時準確的找到焦面。兩種照明裝置可選,通用型及高數值孔徑型。為FPDMASK板檢查提供合適的照明,并且可配備起偏鏡,實現投射光簡易偏光觀察。高反差,更高分辨率,更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式熒光分光鏡模塊 UV光學系統可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可達0.12μm。備有U.B.G等多種熒光方式可選,用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數獲得 RS232C用于晶圓以及器件,甚至焊腳的內部檢查近紅外線觀察附件標配包括一個RS232C接口,使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能,并且可以實現使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設定狀態下工作。包括專門的紅外物鏡等附件,對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正,用于IC深層或內部檢查,可實現對WAFER BUMP的全面檢查自動線寬CD測量附件以亞像素技術實現高度精確的CD測量,OVERLAY測量,套刻測量


     作為世界Z*的光學儀器廠家,160年來徠卡公司推出了世界*的LEICA金相顯微鏡,工業顯微鏡,偏光顯微鏡,立體顯微鏡,體視顯微鏡,實體顯微鏡,測量顯微鏡,圖像分析系統,工業切片機,工業檢測系統。  將光學技術,電子技術,自動化技術和軟件技術結合起來,德國徠卡能為電子行業,汽車行業,材料行業的特定檢測需求提供更加專業的解決方案。

合金孔隙率檢測儀 光學數碼顯微鏡 晶圓檢查顯微鏡 FPD檢查顯微鏡 導電粒子檢測顯微鏡 OLED檢查顯微鏡 CD測量設備 孔隙率測量顯微鏡 三維超景深顯微鏡,超景深三維視頻顯微鏡,超景深三維顯微鏡

     德國徠卡DM8000M-CDM系列測量針對半導體制程中光學檢測需求開發設計,同時具有套刻、線寬和缺陷檢測三種功能,可滿足90nm工藝節點的套刻測量,0.5um以上的線寬測量及用戶自定義的缺陷檢測。

     Leica DM8000M采用*的圖形處理技術和成像系統,具有測量精度高、速度快、應用靈活等特點,可使用于半導體工藝、微納加工、MEMS、LED等領域中的良率控制。
     

可支持晶圓尺寸:max :8"Inch

zui小可測量線寬:0.5um

線寬測量重復性:3σ≤8 nm

套刻測量重復性:3σ≤6 nm

支持缺陷類型:顆粒;刮傷; 圖形損壞或客戶定義的缺陷類型

聚焦方式:自動

/下片方式:手動

 

 

 



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