招
8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(jī)招標(biāo)公告
- 公告日期 2024-05-13
- 截止日期 2024-06-02
-
所在地區(qū)
北京北京市
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所屬行業(yè)
實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備/制樣/消解設(shè)備/電子束刻蝕系統(tǒng)
詳細(xì)信息
中國(guó)儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo),于2024-05-11在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱:離子束刻蝕機(jī)
設(shè)備數(shù)量:1臺(tái)
設(shè)備用途:主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層(Au、Ti)的刻蝕加工。
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:資金已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0709-244035614023
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(jī)(重新招標(biāo))
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
1 | 離子束刻蝕機(jī) | 1套 | *刻蝕工藝腔 要求腔室內(nèi)部安裝有易拆卸替換的專用內(nèi)襯板、柵網(wǎng)、觀察窗、石英放電腔等,可實(shí)現(xiàn)設(shè)備真空腔室的快速清理和維護(hù),要求設(shè)備配備兩套內(nèi)襯板,兩套柵網(wǎng),兩套石英放電腔、兩套觀察窗、兩套中和器,一套在用,一套備用;工藝腔室為模塊化平臺(tái)構(gòu)造,包含氣體氣路、腔室本體、ESC下電極、電源分配模塊接口、傳送腔體接口等;對(duì)于刻蝕窗口暴露面積超過(guò)10%的晶圓,具備終點(diǎn)檢測(cè)抓取能力。 對(duì)于厚度300μm~1100μm的8英寸晶圓片,金(Au)薄膜刻蝕應(yīng)滿足以下指標(biāo): *(1)金(Au)刻蝕速率≥800?/min; |
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):(1)投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競(jìng)爭(zhēng)的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。
(2)凡是來(lái)自中華人民共和國(guó)或是與中華人民共和國(guó)有正常貿(mào)易往來(lái)的國(guó)家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標(biāo)。
(3)與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
(4)接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加受托項(xiàng)目的投標(biāo),也不得為該項(xiàng)目的投標(biāo)人編制投標(biāo)文件或者提供咨詢。
(5)單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位,不得參加同一招標(biāo)項(xiàng)目包投標(biāo)。
(6)只有在法律上和財(cái)務(wù)上獨(dú)立、合法運(yùn)作并獨(dú)立于招標(biāo)人和招標(biāo)機(jī)構(gòu)的供貨人才能參加投標(biāo)。
(7)投標(biāo)人須提供開(kāi)戶銀行在開(kāi)標(biāo)日前三個(gè)月內(nèi)開(kāi)具的資信證明原件或復(fù)印件。
(8)境內(nèi)投標(biāo)人還應(yīng)具備良好商業(yè)信譽(yù)和財(cái)務(wù)狀況,并能夠提供營(yíng)業(yè)執(zhí)照、依法繳納稅收和社會(huì)保障資金證明等材料,不得存在下列情形之一:
①失信被執(zhí)行人;
②被責(zé)令停業(yè)或進(jìn)入破產(chǎn)程序的;
③財(cái)產(chǎn)被接管、凍結(jié)且影響項(xiàng)目履約的;
④近三年內(nèi)有被相關(guān)行政監(jiān)督部門判定并發(fā)布騙取中標(biāo)的或取消投標(biāo)資格的;
⑤需提供近三年內(nèi)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中無(wú)重大違法記錄的書(shū)面聲明,并未被“國(guó)家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)”網(wǎng)站“列為嚴(yán)重違法失信名單”。
(9)境內(nèi)投標(biāo)人須提供經(jīng)會(huì)計(jì)師事務(wù)所審計(jì)的2022年度財(cái)務(wù)審計(jì)報(bào)告復(fù)印件(財(cái)務(wù)審計(jì)報(bào)告應(yīng)當(dāng)體現(xiàn)投標(biāo)人(被審計(jì)單位)名稱、會(huì)計(jì)師事務(wù)所(審計(jì)單位)名稱、符合招標(biāo)文件要求的審計(jì)年度并提供經(jīng)審計(jì)的財(cái)務(wù)報(bào)表);境外投標(biāo)人須提供符合招標(biāo)文件要求的財(cái)務(wù)報(bào)表。
(10)本項(xiàng)目接受代理商投標(biāo)。如果投標(biāo)人所投的貨物不是投標(biāo)人自己制造的,投標(biāo)人須提供制造商同意其在本次投標(biāo)中提供該貨物的正式授權(quán)書(shū)(不含轉(zhuǎn)授權(quán))。同一品牌的制造商只能委托一家代理商參與本項(xiàng)目投標(biāo)。同一品牌的制造商和代理商不能同時(shí)參加本項(xiàng)目的投標(biāo)。
(11)投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書(shū);并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。
(12)投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備再制造廠商,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書(shū);并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。要求2020年至今同類型設(shè)備出貨量與驗(yàn)收數(shù)量大于10臺(tái),國(guó)產(chǎn)設(shè)備與再制造廠商提供合同和驗(yàn)收材料,進(jìn)口全新設(shè)備出具蓋章的業(yè)績(jī)說(shuō)明材料。
(13)試樣要求:招標(biāo)人有權(quán)利依次對(duì)滿足標(biāo)書(shū)要求的設(shè)備進(jìn)行樣品試制,試制樣品須滿足本標(biāo)書(shū)第三條(主要技術(shù)指標(biāo))中樣品試制要求。招標(biāo)方提供樣片給投標(biāo)方,投標(biāo)方使用參與投標(biāo)的同型號(hào)設(shè)備,測(cè)試過(guò)程由招標(biāo)方進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)督,招標(biāo)方按照試制樣品驗(yàn)收指標(biāo)要求進(jìn)行工藝測(cè)試,測(cè)試完成后提交招標(biāo)方檢測(cè)評(píng)估,檢測(cè)評(píng)估合格,投標(biāo)方才具備投標(biāo)資格。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:2024-05-11
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:2024-05-17
是否在線售賣標(biāo)書(shū):否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn):https://bid.cnic.com.cn
招標(biāo)文件售價(jià):¥1500/$210
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間(開(kāi)標(biāo)時(shí)間):2024-05-31 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號(hào)英斯泰克大廈5層會(huì)議室
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號(hào)英斯泰克大廈5層會(huì)議室
6、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市東海大道888號(hào)
聯(lián)系人:陳老師
聯(lián)系方式:13906020315
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):中國(guó)儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司
地址:北京市豐臺(tái)區(qū)西營(yíng)街1號(hào)院1區(qū)1號(hào)樓15層、16層、17層
聯(lián)系人:陶宇
聯(lián)系方式
招標(biāo)單位 | 中國(guó)儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司 |
---|---|
聯(lián)系人 | 陶宇 |
聯(lián)系電話 | 010-60961220/60961520 |
聯(lián)系傳真 | |
聯(lián)系地址 | 北京市豐臺(tái)區(qū)西營(yíng)街1號(hào)院1區(qū)1號(hào)樓15層、16層、17層 |
免責(zé)聲明:以上所展示的信息由企業(yè)自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé),化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
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