產(chǎn)品介紹

氫氟酸（HF）是一種無(wú)色透明的液體，具有刺激性氣味，具備腐蝕性和毒性。氫氟酸能夠強(qiáng)烈腐蝕金屬、玻璃等多種材料，還易溶于水并形成溶液，具有揮發(fā)性，會(huì)釋放出氟化氫氣體。

在泛半導(dǎo)體制造中，氫氟酸被廣泛應(yīng)用于晶圓清洗，用于去除表面污染物以提高潔凈度；在氧化層刻蝕中，它能精確控制刻蝕深度和均勻性，實(shí)現(xiàn)精細(xì)圖形的轉(zhuǎn)移，同時(shí)還參與表面處理和化學(xué)拋光等工藝。然而，氫氟酸的濃度控制至關(guān)重要，它直接影響刻蝕速率和均勻性，進(jìn)而關(guān)系到芯片的性能和良率。濃度過(guò)高可能損傷精密設(shè)備，而濃度過(guò)低則無(wú)法達(dá)到理想的工藝效果。此外，控制氫氟酸濃度還能確保操作人員的安全，避免因接觸高濃度氫氟酸而造成傷害。

楚一測(cè)控CYR-E-HF-氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀為泛半導(dǎo)體行業(yè)的氫氟酸濃度監(jiān)測(cè)提供了創(chuàng)新解決方案。傳統(tǒng)的離線分析方法不僅耗時(shí)、易出錯(cuò)，更無(wú)法滿足行業(yè)對(duì)實(shí)時(shí)監(jiān)控的嚴(yán)苛要求。而該儀表專為泛半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，能夠?qū)ιa(chǎn)過(guò)程中的氫氟酸濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，滿足行業(yè)對(duì)高精度、高可靠性的需求。它可以在線監(jiān)測(cè)晶圓清洗槽中的氫氟酸濃度，確保清洗效果穩(wěn)定；實(shí)時(shí)監(jiān)控刻蝕液中的氫氟酸濃度，實(shí)現(xiàn)對(duì)刻蝕工藝的精確控制；還能用于氫氟酸回收系統(tǒng)，優(yōu)化回收效率，降低生產(chǎn)成本。在線折光儀的實(shí)時(shí)監(jiān)控功能能夠快速響應(yīng)，及時(shí)反映濃度變化，避免批次間的差異；其無(wú)損測(cè)量方式不接觸樣品，避免污染，保證工藝的純凈度；并且可以與控制系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化調(diào)節(jié)，提高生產(chǎn)效率。

CYR-E-HF-氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀基于折光原理進(jìn)行測(cè)量。光線從棱鏡射入氫氟酸溶液時(shí)會(huì)發(fā)生折射現(xiàn)象，折射角的大小與氫氟酸的濃度有關(guān)，濃度越高，折射角越大。通過(guò)測(cè)量折射角并結(jié)合溫度補(bǔ)償，儀表可以精準(zhǔn)計(jì)算出氫氟酸的濃度。這種測(cè)量方式具有諸多優(yōu)勢(shì)：折射率測(cè)量精度高，能夠準(zhǔn)確反映濃度變化；抗干擾能力強(qiáng)，受樣品顏色和濁度的影響小；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)成本低。

選擇CYR-E-HF-氫氟酸濃度在線監(jiān)測(cè)儀，您將獲得專為泛半導(dǎo)體行業(yè)優(yōu)化的高性能設(shè)備。我們采用特種耐氫氟酸腐蝕材質(zhì)（超純PTFE、PFA），確保儀表在苛刻的化學(xué)環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，避免腐蝕造成的測(cè)量誤差。高精度光學(xué)傳感器和能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)氫氟酸濃度的準(zhǔn)確測(cè)量，滿足泛半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高精度的需求。內(nèi)置高精度溫度傳感器可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)溫度補(bǔ)償，消除溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，保證測(cè)量精度。同時(shí)，我們還提供定制化服務(wù)，可根據(jù)客戶的具體工藝需求，提供個(gè)性化的解決方案。

技術(shù)參數(shù)