中圖儀器SJ6000激光干涉機床校準儀集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。
產品結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
產品功能
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）SJ6000激光干涉機床校準儀支持手動或自動進行環境補償。
在機床領域中的應用
1.測量機床導軌的直線度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續的優化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發現工作臺的不平整和非垂直狀態，并及時進行調整和修正，確保工件的加工精度和穩定性。
3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。
機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續的機床調整和校準提供依據。
4.其它
除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發現機床的故障和異常狀態，保證機床的穩定性和可靠性。
對數控機床進行螺距誤差補償
SJ6000激光干涉機床校準儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。
部分技術規格
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動態采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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