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photoresist-正性光刻膠板,光刻制版

2024-08-29

產      地:
www.felles.cn/photoplate.html
所在地區:
上海上海市
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正性光刻膠板是正色調光致抗蝕劑positive tone photoresist,在玻璃襯底上鍍膜,形成均勻的光膠層,正性光刻膠板類似于Shipley S1800系列光致抗蝕劑,可產生**的結構。
正性光刻膠板非常適合3D全息光刻制版應用.
正性光刻膠板PHOTO-R光刻膠板是涂有光致抗蝕劑的玻璃板。 不使用旋涂,因此這些光刻膠板在整個板表面上具有均勻的光致抗蝕劑層厚度。
正性光刻膠板可記錄深度3D圖像全息圖,它產生比Spipley光致抗蝕劑**的結果 .
正性光刻膠板的光致抗蝕劑是一種正聚合物質 - 即在暴露于短波長的光之后它變得可溶于某種溶劑。
正性光刻膠板光致抗蝕劑層涂層通常為1-1.5μm厚,適合連續CW和脈沖激光照射,對于連續CW的440nm脈沖激光照射曝光的靈敏度約為?1.5mJ/cm 2,對于440nm脈沖激光照射曝光的靈敏度約為?12-15mJ / cm 2,在以1:9稀釋在去離子水中的AZ303顯影劑中曝光30秒后進行處理。
正性光刻膠板訂購規格
尺寸200x250mm,每包10片
尺寸250x300mm,每包4片
正性光刻膠板規格參數
曝光靈敏度: 30mJ/cm2
分辨率:
1500l/mm
光膠厚度: ?2µm
襯底玻璃板厚度: 2-3mm
保存濕度:<50%
存儲溫度: 25°C±1°C.



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