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預算335萬 上海交通大學采購感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統
2023年11月25日 10:02:22
來源：化工儀器網 點擊量：6737
近日，上海交通大學就“感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統采購項目（項目編號：0773-2341SHHW0110/校內編號：招設2023A00204）”發布招標公告，預算金額為335萬元。
【化工儀器網 市場商機】 感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統是一種先進的薄膜制備技術。這種系統通過感應耦合等離子體(ICP)的方式產生高密度等離子體，使得含有薄膜組成成分的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料的制備。該系統主要應用于硅、III-V族化合物半導體、聚合物等襯底材料上，實現介質薄膜(包括氧化硅、氮化硅等)和非晶態碳化硅等多種薄膜材料的制備。
近日，上海交通大學就“感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統采購項目(項目編號：0773-2341SHHW0110/校內編號：招設2023A00204)”發布招標公告，預算金額為335萬元。該招標項目的潛在投標人應在上海市四平路200號盛泰國際大廈606室獲取招標文件，并于2023年12月15日 09點30分(北京時間)前遞交投標文件。
項目基本情況
項目編號：0773-2341SHHW0110/校內編號：招設2023A00204
項目名稱：上海交通大學感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(ICPECVD)
預算金額：335.000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：335.000000 萬元(人民幣)
采購需求：
項目概況：該設備通過感應耦合等離子體(ICP)方式產生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
采購需求：
設備名稱：感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(ICPECVD)
數量：1套
簡要技術參數：2.1 反應腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側壁帶加熱功能?！?.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術規格”
設備用途：該設備通過感應耦合等離子體(ICP)方式產生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
交貨期：簽訂合同后11個月內
交付地點：上海交通大學用戶指定地點
合同履行期限：簽訂合同后11個月內
本項目( 不接受 )聯合體投標。
申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目為機電產品國際招標項目，相關法規與政策均按照《機電產品國際招標投標實施辦法(試行)》執行。
3.本項目的特定資格要求：1)投標人為制造商時，須提供制造商資格聲明函(見格式 IV-9-2)；投標人為代理商時，須提供資格聲明函(見格式 IV-9-3)及制造商提供的針對本項目的授權書(見格式 IV-9-4)；2)投標人開戶銀行在開標日前三個月內開具的資信證明原件或復印件；3)投標人須在投標截止期之前在國家商務部指定的機電產品招標投標電子交易平臺(以下簡稱機電產品交易平臺)上完成有效注冊；4)不接受聯合體投標。
獲取招標文件
時間：2023年11月24日 至 2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。(北京時間，法定節假日除外)
地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
方式：(1)投標人報名時須先登錄“上海交通大學數字化采購平臺” 供應商注冊進行網上注冊并實名認證。(2)注冊轉賬之后，請務必發郵件說明。郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網上轉賬憑證。發送至zjzb2022@126.com。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
開標時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
公告期限
自本公告發布之日起5個工作日。
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