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CG 4000-臨界尺寸掃描電子顯微鏡
  • CG 4000-臨界尺寸掃描電子顯微鏡
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貨物所在地:廣東深圳市

更新時間:2025-05-10 21:00:08

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Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM).它專為超精細半導體器件而設計.
以下是一些主要規格和功能:
分辨率:1.8nm(加速電壓:800V)
重復性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立標準晶圓)
晶圓尺寸:300mm(200mm)
產量:36 片晶圓/小時(晶圓上有 20 個測量點)
加速電壓:300 - 1600 V

Hitachi CG4000 臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)

Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM).它專為超精細半導體器件而設計.

以下是一些主要規格和功能:

  • 分辨率:1.8nm(加速電壓:800V)

  • 重復性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立標準晶圓)

  • 晶圓尺寸:300mm(200mm)

  • 產量:36 片晶圓/小時(晶圓上有 20 個測量點)

  • 加速電壓:300 - 1,600 V (10V步進) (200 - 2,000 V:可選)

  • 它提供高分辨率、高精度的計量可重復性

  • 它包括高精度平均 CD (ACD) 計量功能

  • 它支持行業標準的線邊緣粗糙度 (LER) 計量功能

  • 它具有改進的可操作性和自動維護功能

該器件被廣泛用作半導體工藝中CD測量的主要工具.它能夠實現亞納米級的測量精度以及高分辨率、高精度的計量可重復性和高通量.它旨在應對半導體行業設計規則不斷縮小時對過程控制的嚴格要求.它是一款功能強大的工具,可提供寬加速電壓范圍、高靈敏度數字成像、電荷保護校正、能量濾波器功能、精確運動控制以及自動樣品交換和聚焦.



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