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自從*臺工業(yè)上可運行的干式泵1984年在日本運行以來，許多無油真空泵如雨后養(yǎng)筍般迅速發(fā)展起來，其中以日本、美國、法國、德國zui為*。美國Varian(瓦里安)公司生產(chǎn)的DVP系列產(chǎn)品，其真空度可以達(dá)到10-2Pa，這是目前報道的單級干式真空泵中真空度zui高的產(chǎn)品之一。而德國Sterling SIHI公司在1997年研制成功的SIHIdry是世界上*臺直正意義上的干式真空泵，它能滿足流程工業(yè)中zui苛刻的要求，該產(chǎn)品榮獲德國“1998年年度技術(shù)革新獎”。以上兩種真空泵均于沿轉(zhuǎn)子長度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它們同時也是無油真空泵的典型產(chǎn)品。

　　雖然干式真空泵的種類越來越多，但是通常的機械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大，成本高;另外還有利用多葉級數(shù)進(jìn)行串連的羅茨泵，其缺點與爪式泵相仿。在此種背景下誕生的干式螺桿真空泵則具有了其前輩真空泵類所不具各的很多優(yōu)點，而這些優(yōu)點則保證了干式螺桿真空泵的*性及在應(yīng)用中的優(yōu)勢。

　　國外關(guān)于螺桿真空泵性能的研究有許多內(nèi)容。。英國Rietschle有限公司根據(jù)螺桿式壓縮機原理設(shè)計出一種雙螺桿干式真空泵，采用了許多新技術(shù)，并已形成批量生產(chǎn),該公司已成為世界低壓與真空技術(shù)中的人物之一。美國Tuthill真空設(shè)備有限公司手2002年推出一款用于氣體處理的新型Kinney干式螺桿真空泵，該KDPH-120型螺桿泵采用可變嚙合設(shè)計，比其他類TJ的真空泵耗能減少約30%。普旭是zui有影響力的真空設(shè)備制造商之一，為客戶提供了數(shù)量眾多的真空泵及真空系統(tǒng)。普旭BUSCH的無油螺桿真空泵系列于2003年通過了應(yīng)用材料公司美國實驗室測試。應(yīng)用材料公司在美國實驗室將普旭BUSCH的無油螺桿真空泵系列與其設(shè)備安裝在一起進(jìn)行測試，經(jīng)過一年檢測，結(jié)果證明普旭真空泵系列與其設(shè)備結(jié)合測試的效果*。之后普旭又于2004年推出了表面經(jīng)特別強化的螺桿真空泵系列，可以抵抗目前己知的絕人多數(shù)活潑氣休的腐蝕。另外還有其他一些文獻(xiàn)對螺桿真空泵的性能等方面進(jìn)行了較多的研究。在國內(nèi)，有關(guān)干式螺桿真空泵的研究文獻(xiàn)很少。

　　目前國內(nèi)外關(guān)于雙螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子型線設(shè)計方面的報道很少，主要內(nèi)容集中于對螺桿真空泵性能的預(yù)測與配套裝置、材料、加工方法設(shè)備、螺桿泵的配件、密封條件等等內(nèi)容的改進(jìn)。

　　目前由于各國多對自己的螺桿泵技術(shù)進(jìn)行保密和競爭，而我國在螺桿泵的設(shè)計方面仍然有很多具體的細(xì)節(jié)和技術(shù)難題還沒有解決，在螺桿泵的設(shè)計方面沒有達(dá)到世界*水平。在具體的螺桿泵的加工制造上，局限于我國的生產(chǎn)設(shè)備和加工條件，我國生產(chǎn)的螺桿泵自動化程度不高，精度也不高，在一些的螺桿泵上仍不能獨立制造。因此中的真空泵仍然主要依賴于。

　　對于所有類型的真空泵，人們都希望能夠?qū)F(xiàn)有的真空泵的物理尺寸盡量減小。但是這一點與真空泵的抽氣速率相矛盾。因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然還有一個影響真空泵抽氣速率的因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了使小尺寸的真空泵與大尺寸的真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高其轉(zhuǎn)速。而想要提高真空泵的轉(zhuǎn)速可以采用變頻器來改變電源的頻率或者改變齒輪箱的傳動比。前者可以提供一個閉環(huán)控制，但是在大負(fù)載的情況下容易引起扭矩的損失。而改變齒輪箱的傳動比是比較經(jīng)濟(jì)的一種方法，但是它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。國外目前開發(fā)較多的是高轉(zhuǎn)速的真空泵系列。